| ชื่อสินค้า: | SJ6000 ระบบการวัดด้วยเลเซอร์อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ | ช่วงการวัดเชิงเส้น: | 0~80ม |
|---|---|---|---|
| ปณิธาน: | 1 นาโนเมตร | ความแม่นยำของความถี่เลเซอร์: | 0.05ppm |
| อุณหภูมิในการทำงาน:: | (0-40) ℃ | อัตราการจับภาพแบบไดนามิก:: | 50kHz |
| เน้น: | เลเซอร์อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ความถี่เดียว,อุปกรณ์วัด 0.05ppm,อุปกรณ์วัดความละเอียด 1 นาโนเมตร |
||
เลเซอร์อินเทอร์เฟโรเมตรถูกยอมรับว่าเป็นวิธีวัดความละเอียดสูงและความรู้สึกสูงที่ใช้ความยาวคลื่นของแสงเป็นเกณฑ์ที่ใช้อย่างแพร่หลายในสาขาผลิตระดับสูงระบบแอร์เฟอร์โมเมตรเลเซอร์ SJ6000 มีเครื่องกําเนิดเลเซอร์ฮีเลียม-เนออนความถี่สูงจากผู้จําหน่ายสหรัฐอเมริกา, โมดูลการชดเชยสิ่งแวดล้อมความแม่นยําสูง การประมวลผลสัญญาณการขัดขวางเลเซอร์ที่ทันสมัย และระบบควบคุมคอมพิวเตอร์ที่มีประสิทธิภาพสูง
การใช้เทคโนโลยีความถี่ความถี่ความร้อนของลาเซอร์แบบสองระยะยาวและปารามิเตอร์ทางกณิตศาสตร์การออกแบบเส้นทางทางออนไลน์การแทรกแซง.05ppm) ไลเซอร์ออกอย่างรวดเร็ว (ประมาณ 6 นาที) ด้วยผลงานต่อต้านการขัดขวางที่แข็งแรงความตั้ง, และวิเคราะห์ลักษณะทางไดนามิก
| ปริมาตร | รายละเอียด |
|---|---|
| วิธีการวัด | ความถี่เพียงครั้งเดียว |
| ความแม่นยําของความถี่เลเซอร์ | 00.05ppm |
| อัตราการจับแบบไดนามิก | 50kHz |
| เวลาอุ่นเครื่อง | ประมาณ 6 นาที |
| อุณหภูมิการทํางาน | (0-40) °C |
| สภาพแวดล้อม | อุณหภูมิ: (0-40) °C ความชื้น: 0-95% |
| อุณหภูมิการเก็บรักษา | -20°C ถึง 70°C |
| ประเภทเซ็นเซอร์ | รายละเอียด |
|---|---|
| เครื่องตรวจจับอุณหภูมิชั้นบรรยากาศ | ±0.1°C (0-40) °C ความละเอียด: 0.01°C |
| เครื่องตรวจจับอุณหภูมิวัสดุ | ±0.1°C (0-40) °C ความละเอียด: 0.01°C |
| เครื่องตรวจจับความชื้นของชั้นบรรยากาศ | ± 5% (0-95%) |
| เครื่องตรวจจับความดันชั้นบรรยากาศ | ± 0.1kPa (65-115) kPa |
| ปริมาตร | รายละเอียด |
|---|---|
| ระยะการวัด | (0-80) ม |
| ความแม่นยําในการวัด | 0.5ppm (0-40) °C |
| การวัดความละเอียด | 1nm |
| ความเร็วในการวัดสูงสุด | 4m/s |
| ปริมาตร | รายละเอียด |
|---|---|
| ระยะแกน | (0-15) เมตร |
| ระยะการวัด | ± 10° |
| ความถูกต้อง | ±(0.02%R+0.1+0.24M) ′′ (R แสดงค่า, หน่วย: ′′; M คือความยาวที่วัดใน m) |
| การวัดความละเอียด | 0.1′′ |
| ปริมาตร | รายละเอียด |
|---|---|
| ระยะแกน | (0-15) เมตร |
| ระยะวัดความเรียบ | ± 1.5 มม. |
| ความถูกต้อง | ±(0.2%R+0.02M2) μm (R แสดงค่าใน μm; M คือความยาวที่วัดใน m) |
| ขนาดของพื้นฐาน | ปรับ 180 มม ปรับ 360 มม |
| การวัดความละเอียด | 0.1μm |
| ประเภท | ระยะทางแกน | ระยะวัด | ความถูกต้อง | การแก้ไข |
|---|---|---|---|---|
| ความเรียบสั้น | (0.1-4) เมตร | ±3.0mm | ± ((0.5+0.25%R+0.15M2) μm | 00.01μm |
| ความเรียบยาว | (1-20) เมตร | ±3.0mm | ± ((5.0+2.5%R+0.015M2) μm | 00.01μm |
| ประเภท | ระยะทางแกน | ระยะวัด | ความถูกต้อง | การแก้ไข |
|---|---|---|---|---|
| ความเรียบสั้น | (0.1-3) เมตร | ±3.0mm | ±(2.5+0.25%R+0.8M) μm/m | 00.01μm |
| ความเรียบยาว | (1-15) เมตร | ±3.0mm | ±(2.5 + 2.5%R+0.08M) μm/m | 00.01μm |