0.05ppm ระบบการวัดด้วยเลเซอร์อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ ความละเอียด 1 นาโนเมตร

1. วิธีการวัด: ความถี่เดียว

1. เซ็นเซอร์อุณหภูมิบรรยากาศ : ±0.1℃ (0-40)℃, ความละเอียด : 0.01℃

2. ความแม่นยำของความถี่เลเซอร์: 0.05ppm

2. เซ็นเซอร์อุณหภูมิวัสดุ: ±0.1℃ (0-40)℃, ความละเอียด: 0.01℃

3. อัตราการจับภาพแบบไดนามิก: 50kHz

3. เซ็นเซอร์วัดความชื้นในบรรยากาศ: ±5% (0-95%)

4. เวลาอุ่นเครื่อง: ประมาณ 6 นาที

4. เซ็นเซอร์ความดันบรรยากาศ: ±0.1kPa (65～115)kPa

5. อุณหภูมิในการทำงาน: (0-40) ℃

6. อุณหภูมิแวดล้อม: (0-40)℃, ความชื้น: 0-95%

7. อุณหภูมิในการจัดเก็บ: -20 ℃ -70 ℃

1.ช่วงการวัด : (0-80)ม

1. ช่วงแกน: (0-15) ม

2. ความแม่นยำในการวัด: 0.5ppm (0-40) ℃

2. ช่วงการวัด: ±10°

3. ความละเอียดการวัด: 1 นาโนเมตร

3. ความแม่นยำ: ±(0.02%R+0.1+0.24M)″ (R คือค่าที่ระบุ หน่วย: ″;M คือความยาวที่วัดได้ในหน่วย m)

4. ความเร็วในการวัดสูงสุด: 4m / s

4. ความละเอียดการวัด: 0.1″

1. ช่วงแกน: (0-15) ม

2. ช่วงการวัดความเรียบ : ±1.5 มม

3. ความแม่นยำ: ±(0.2%R+0.02M2) μm (R คือค่าที่ระบุในหน่วย μm;M คือความยาวที่วัดได้ในหน่วย m)

4. ขนาดพื้นผิว: ปรับได้ 180 มม., ปรับได้ 360 มม

5. ความละเอียดการวัด: 0.1μm

ความตรงสั้น

(0.1-4)ม

±3.0มม

±(0.5+0.25%R+0.15M2)μm

0.01μm

ความตรงยาว

(1-20)ม

±3.0มม

±(5.0+2.5%R+0.015M2)μm

0.01μm

หมายเหตุ: R แสดงค่าเป็น μm;M คือความยาวหน่วยวัดเป็นเมตร

ความตรงสั้น

(0.1-3)ม

±3.0มม

±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m

0.01μm

ความตรงยาว

(1-15)ม

±3.0มม

±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/ม

0.01μm

หมายเหตุ: R แสดงค่าเป็น μm;M คือความยาวหน่วยวัดเป็นเมตร