การพัฒนาเครื่องวัดพิกัด 3 มิติ (CMM) เริ่มต้นในช่วงกลางศตวรรษที่ 20 ด้วยการนํา CMM มือถือมาใช้

เครื่องมือเหล่านี้ใช้เครื่องตรวจสอบ เพื่อวัดวัตถุทางกายภาพ และบันทึกพิกัดของจุดด้วยมือCMM พัฒนาขึ้นเป็นอุปกรณ์ที่ใช้คอมพิวเตอร์ช่วย ทําให้กระบวนการวัดเป็นระบบอัตโนมัติ, เพิ่มความแม่นยําและประสิทธิภาพ

ในปัจจุบัน CMM 3 มิติที่ทันสมัยมีโปรแกรมและฮาร์ดแวร์ที่ทันสมัย เช่น ระบบสัมผัส-สแกนเลเซอร์ และโปรแกรมสําหรับการวิเคราะห์ข้อมูล, การจําลองและวิศวกรรมกลับCMM 3 มิติถูกใช้อย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น การบินอวกาศ, รถยนต์, และการผลิตสําหรับการควบคุมคุณภาพ, การตรวจสอบ, และกระบวนการผลิต